Mems加速度计和压电陶瓷加速度计有什么不同

　   Mems加速度计和压电陶瓷加速度计有哪些不同之处呢？

　　MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

　　我们这里主要说的是振动mems加速度计，mems加速度计有好几种类型如下：压阻式微加速度计，电容式微加速度计，扭摆式微加速度计，隧道式微加速计。

　　Mems加速计主要优点：体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等。

　　Mems加速计现状：目前低端一些应用国产的也是可以的，高端的工业用的还是和国外相差很多的。主要表现在频响范围、噪声比、分辨率等等。

　　压电陶瓷传感器的主要工作原理是正压电效应，由于经过外力作用后，产生的电荷只能在回路具有无限大的输入阻抗时才能保存，而实际上不会有这种情况存在，所以压电陶瓷传感器只能用于测量、感知动态或准静态的应力。

　　压电式传感器的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。压电晶体可长期工作温度可达到400℃以上，瞬间（10个毫秒级）冲击温度可达4000K以上，可承受很高的表面压力（》150N/mm2）、刚度很高、线性好、迟滞小、在很宽的温度范围内灵敏度恒定、频响范围宽、可承受几乎无限的载荷循环数，绝缘阻抗非常高。

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