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Mems加速度计和压电陶瓷加速度计有什么不同

在中国,我们已服务中小企业8w多家 | [在线咨询]2021-12-10 11:56:02
【文章导读】 Mems加速度计和压电陶瓷加速度计有哪些不同之处呢?MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。我们这里主要说的是振动mems加速度计,mems加速度计有好几种类型

    Mems加速度计和压电陶瓷加速度计有哪些不同之处呢?


  MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。


  我们这里主要说的是振动mems加速度计,mems加速度计有好几种类型如下:压阻式微加速度计,电容式微加速度计,扭摆式微加速度计,隧道式微加速计。


  Mems加速计主要优点:体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等。


  Mems加速计现状:目前低端一些应用国产的也是可以的,高端的工业用的还是和国外相差很多的。主要表现在频响范围、噪声比、分辨率等等。


  压电陶瓷传感器的主要工作原理是正压电效应,由于经过外力作用后,产生的电荷只能在回路具有无限大的输入阻抗时才能保存,而实际上不会有这种情况存在,所以压电陶瓷传感器只能用于测量、感知动态或准静态的应力。


  压电式传感器的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。压电晶体可长期工作温度可达到400℃以上,瞬间(10个毫秒级)冲击温度可达4000K以上,可承受很高的表面压力(》150N/mm2)、刚度很高、线性好、迟滞小、在很宽的温度范围内灵敏度恒定、频响范围宽、可承受几乎无限的载荷循环数,绝缘阻抗非常高。


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